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TSMC, EUV ¸¶½ºÅ©¿ë °Ç½Ä¼¼Á¤±â¼ú ¼¼°è ÃÖÃÊ °³¹ß

Á¶¼¼ÀϺ¸ | ¹é¼º¿ø Àü¹®À§¿ø 2020.08.04 10:55

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¼¼°è ÃÖ´ë ÆÄ¿îµå¸®(¹ÝµµÃ¼ ¼öŹ»ý»ê) ¾÷üÀÎ ´ë¸¸ TSMC°¡ EUV(±ØÀڿܼ±) ¸¶½ºÅ©¿ë °Ç½Ä¼¼Á¤±â¼úÀ» °³¹ßÇß´Ù´Â ¼Ò½ÄÀÌ´Ù.

´ë¸¸ IT Àü¹® º¸µµ ¸Åü µðÁöŸÀÓ½º´Â TSMC°¡ ±âÁ¸ÀÇ ½À½Ä ¼¼Á¤°øÁ¤À» ´ëüÇϴ ȯ°æģȭÀû 'EUV ¸¶½ºÅ©¿ë °Ç½Ä ¼¼Á¤ ±â¼ú'À» ¼¼°è ÃÖÃÊ·Î °³¹ßÇß´Ù°í ÁÖÀåÇÑ °ÍÀ¸·Î 3ÀÏ º¸µµÇß´Ù.

ºÒ·® ¿øÀÎÀ» ºÐ¼®ÇØ ¿À¿°¿øÀ» Á¦°ÅÇÑ °á°ú ¿þÀÌÆÛ 1¸¸ Àå´ç ºÒ·®·üÀº ¼ö¹é °³¿¡¼­ ÇÑ ÀÚ¸´¼ö·Î °¨¼ÒÇØ 99%°¡ ÁÙ¾îµé¾úÀ¸¸ç ¹°°ú È­Çй°Áú »ç¿ëµµ °¢°¢ 735Åæ°ú 36ÅæÀÌ Àý°¨µÆ´Ù°í ¼³¸íÇß´Ù.

EUV Æ÷Å丶½ºÅ©´Â Æ縮ŬÀÌ ÀÖ´Â °Í°ú ¾ø´Â 2°¡Áö À¯ÇüÀ¸·Î Æ縮ŬÀº ¸¶½ºÅ© ¿À¿°À¸·Î ¹ß»ýÇÏ´Â ¿þÀÌÆÛ ºÒ·®À» ³·Ãâ ¸ñÀûÀ¸·Î È°¿ëÇϱâ À§ÇØ ¸¶½ºÅ© Àü¸é¿¡ ºÎÂøÇÏ´Â ¿À¿°¹æÁö ºÎÇ°À» ¸»ÇÑ´Ù.

TSMC´Â ±¤ Åõ°úÀ²À» ³ôÀÌ°í ³ëÃ⠽à ¿¡³ÊÁö ¼Õ½ÇÀ» ÁÙÀ̱â À§ÇØ Æ縮ŬÀÌ ¾ø´Â EUV ¸¶½ºÅ©¸¦ ¼±ÅÃÇßÀ¸¸ç °Ç½Ä ¼¼Á¤±â¼ú¿¡ ÀÇÇØ ³ª³ë¹ÌÅÍ ÀÌÇÏ ÀÔÀÚÀÇ À§Ä¡¸¦ Á¤È®ÇÏ°Ô ºÐ¼®ÇØ Á¦°ÅÇÔÀ¸·Î½á ¿À¿°À» ¸·¾Æ 99% ÀÔÀÚ °¨¼ÒÀ²À» ´Þ¼ºÇß´Ù°í ¹àÇû´Ù.

¶ÇÇÑ, °Ç½Ä ¼¼Á¤±â¼ú ´öºÐ¿¡ ÀÚ¿ø È°¿ë È¿À²ÀÌ Å©°Ô Çâ»óµÇ¾ú´Ù°íµµ ÁÖÀåÇß´Ù. ±× °á°ú EUV ¸¶½ºÅ©ÀÇ »ç¿ë·üÀº 2018³â µµÀÔ ´ç½Ã¿Í ºñ±³ÇØ 80% ÀÌ»ó ´Ã¾î³µÀ¸¸ç °í±Þ °øÁ¤ EUV ¸¶½ºÅ©ÀÇ ¼ö¸í¿¬ÀåÀ¸·Î ÀÎÇÑ ´©Àû °æÁ¦È¿°úµµ 6600¸¸ ´Þ·¯(788¾ï ¿ø)¿¡ ´ÞÇÑ´Ù°í ¹àÇû´Ù.

TSMC´Â Áö³­ÇØ EUV ¸¶½ºÅ© °Ç½Ä ¼¼Á¤°øÁ¤ ±â¼ú¿¡ ÀÚµ¿È­¸¦ µµÀÔÇØ ¿ÃÇØ 1¿ùºÎÅÍ ¸ðµç 12ÀÎÄ¡ ¿þÀÌÆÛ »ý»ê¶óÀο¡ Àû¿ëÇÏ°í ÀÖ´Ù.

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