»ï¼ºÀüÀÚ, SKÇÏÀ̴нº¿¡ ÀÌ¾î ¼¼°è 3À§ ¸Þ¸ð¸® Á¦Á¶¾÷ü ¸¶ÀÌÅ©·Ð Å×Å©³î·ÎÁö(Micron Technology)°¡ 176´Ü ³½µåÇ÷¡½Ã ¸Þ¸ð¸® ¾ç»ê¿¡ µé¾î°¬´Ù.
¸¶ÀÌÅ©·ÐÀº ¾÷°è ÃÖÃÊ·Î 176´Ü ³½µåÇ÷¡½Ã ¸Þ¸ð¸®¸¦ ¾ç»ê, °í°´»ç¿¡ ÃâÇϸ¦ ½ÃÀÛÇß´Ù¸ç »ó¿ë NAND ¹Ðµµ¿¡ ÀÖ¾î »õ·Î¿î ÀÌÁ¤Ç¥¸¦ ±â·ÏÇÑ °ÍÀ¸·Î °í¼º´É ÄÄÇ»Æà ¹× ÈÞ´ëÆù ½ÃÀå¿ë ½ºÅ丮Áö °¡°Ý¿¡ ±àÁ¤ÀûÀÎ ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ¥ °ÍÀ̶ó°í 9ÀÏ(ÇöÁö½Ã°£) ¹ßÇ¥Çß´Ù.
5¼¼´ë 3D ³½µå·Î ¸í¸íÇÑ ÀÌ Á¦Ç°Àº ÀÚ»çÀÇ 96´Ü ³½µåº¸´Ù ÀûÃþ(´Ü) ¼ö¸¦ 40% Áõ°¡½ÃÅ´À¸·Î½á ´ÙÀÌ Å©±â¸¦ 30% ÁÙÀÎ °ÍÀº ¹°·Ð ¾²±â ¹× Àб⠽ð£ Áö¿¬µµ 35% °¨¼ÒÇÏ´Â ¼º°ú¸¦ °Åµ×À¸¸ç ¿ø½Ã µ¥ÀÌÅÍ(raw data) Àü¼Û·üµµ 33% Çâ»ó½ÃÄ×´Ù°í ÁÖÀåÇß´Ù.
88´Ü ĨÀ» 2ÁßÀ¸·Î ½×´Â ¹æ¹ýµµ ÀÖÁö¸¸, ¸¶ÀÌÅ©·ÐÀº À̺¸´Ù ÈξÀ °øÁ¤ÀÌ ±î´Ù·Î¿î ¹æ¹ýÀ» ÀÌ¿ëÇØ 176´ÜÀ» ´ÜÀÏ Ä¨¼¼Æ®·Î ±¸¼ºÇß´Ù. ´õ ¸¹Àº ÃþÀ» ½×À»¼ö·Ï ±ÕÀÏÇÑ ±¸Á¶¸¦ À¯ÁöÇϱ⠾î·Á¿î °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ® Àֱ⠶§¹®ÀÌ´Ù.
¶ÇÇÑ, ¸¶ÀÌÅ©·ÐÀÇ 5¼¼´ë 3D ³½µå´Â 2¼¼´ë RG(Replacement Gate)¸¦ ±¸ÇöÇß´Ù´Â Á¡¿¡¼µµ Æò°¡¹Þ°í ÀÖ´Ù. ¸¶ÀÌÅ©·Ð¿¡ µû¸£¸é ´ëü °ÔÀÌÆ® ±â¼úÀº ³½µåÀÇ ¼º´É ÀúÇϸ¦ ÃÊ·¡ÇÏ´Â ¼¿ °£ ¿ë·®¼º °áÇÕ(Á¤Àü¿ë·®) ¹®Á¦¸¦ Å©°Ô ÁÙÀÓÀ¸·Î½á ´õ ³ôÀº ³»±¸¼º°ú Çâ»óµÈ Àü·Â È¿À², ´õ ³ôÀº ÀúÀå¿ë·® ¹× ºü¸¥ ¼º´ÉÀ» º¸Àδٰí ÇÑ´Ù.
ȸ»ç°¡ °ø°³ÇÑ ÀÚ·áÁý¿¡´Â RG ³½µå ¹æ½ÄÀÌ ÇöÀç ÁÖ·ÂÀÎ 3D ³½µåº¸´Ù 2¹è ÀÌ»ó ºü¸£°Ô ¾²°í Àаí Áö¿ï ¼ö ÀÖ´Ù°í ÀûÇôÀÖ´Ù. ¹°·Ð ½ÇÁ¦ ´Ü¸»±â¿¡¼ ÀÌ·¯ÇÑ ¼º´ÉÀ» ±¸ÇöÇÒ ¼ö ÀÖÀ»Áö´Â ¸íÈ®ÇÏÁö ¾ÊÁö¸¸ ÁøÀüµÈ ±â¼úÀÓÀº È®½ÇÇÏ´Ù.
ÇÑÆí °æÀïÀÚÀÎ »ï¼ºÀüÀÚ¿Í SKÇÏÀ̴нºµµ ¸ðµÎ 176´Ü ³½µå °èȹÀ» ¹ßÇ¥ÇßÁö¸¸ ÀÌ¹Ì ´ë·® ÃâÇÏ¿¡ µé¾î°£ ¸¶ÀÌÅ©·Ð¿¡ ºñÇؼ´Â ÇÑ ¹ß µÚ´Ê¾ú´Ù´Â Æò°¡¸¦ ¹ÞÀ» ¼ö¹Û¿¡ ¾ø°Ô µÇ¾ú´Ù.