¹Ì±¹ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷Çùȸ¿Í °ü·Ã ¾÷°è°¡ ¹ÙÀ̵ç Á¤ºÎ¿¡ Áö¿øÀ» ¿äûÇÏ°í ³ª¼± °¡¿îµ¥ ¹Ì±¹¿¡ °¡µ¿ ÁßÀÎ ¹ÝµµÃ¼ °øÀåµéÀÌ Á¤ÀüÀ¸·Î ¸ØÃç ¼¹´Ù.
¹Ì±¹ ¿À½ºÆ¾ ¾Æ¸Þ¸®Ä ½ºÅ×ÀÌÃ÷¸Ç(American-Statesman) ½Å¹®¿¡ µû¸£¸é Áö³ 17ÀÏ ÁÖ¿ä ¿¡³ÊÁö °ø±Þ¾÷üÀÎ ¿À½ºÆ¾ ¿¡³ÊÁö(Austin Energy)ÀÇ Á¤Àü Å뺸¿Í ÇÔ²² »ï¼ºÀüÀÚ, NXP, ÀÎÇÇ´Ï¿ÂÀÇ °¡µ¿ÀÌ ¸ØÃè´Ù°í ÀüÇß´Ù.
Á¤ÀüÀÇ ¿øÀÎÀº ÇÑÆÄ ¶§¹®À¸·Î ¾Ë·ÁÁ³Áö¸¸ ¿À½ºÆ¾ Àü·ÂÀº »ý»êÀÌ ¾ðÁ¦ Àç°³µÉ °ÍÀÎÁö, »ý»ê¿¡ ¾ó¸¶³ª ÁöÀåÀ» ¹Þ°í ÀÖ´ÂÁö¿¡ ´ëÇؼ´Â ¹àÈ÷Áö ¾Ê°í ÁÖ°ÅÁö¿ª°ú Áß¿äÇÑ °Ç°, ¾ÈÀü ¹× ÀÎÀû ¼ºñ½º¿¡ ¿ì¼±¼øÀ§¸¦ µÎ°í ´Ù°í ¹àÇô ¹ÝµµÃ¼ °ø±Þ½ÃÀå¿¡ »ó´çÇÑ ¿µÇâÀÌ ¿ì·ÁµÈ´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ ´ëº¯ÀÎ ¹Ì¼Ð ±Û·¹ÀÌÁî´Â ÇöÁö ¾ð·Ð°ú ÀÎÅͺ並 ÅëÇØ ¡°»çÀü °øÁö¿Í ÇÔ²² »ý»ê½Ã¼³°ú ¿þÀÌÆÛ¿¡ ´ëÇØ ÀûÀýÇÑ Á¶Ä¡°¡ ¾ÈÀüÇÏ°Ô ÀÌ·ïÁ³´Ù¡±°í ¸»ÇßÀ¸¸ç ¡°¿À½ºÆ¾ ¿¡³ÊÁö´Â ¡±NXP¸¦ Æ÷ÇÔÇÑ 2°÷ÀÇ °øÀå¿¡ ´ëÇÑ Àü·Â°ø±ÞÀÌ Áߴܵƴ١°°í È®ÀÎÇß´Ù.
¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷°ü·Ã ÀÚ¹®À§¿ø ·Î¹öÆ® ¸¶À̾î(Robert Maire)´Â ¡°¸î ½Ã°£ Àü¿¡ ÅëÁö¸¦ ¹Þ¾Ò´Ù¸é ´ëºÎºÐÀÇ ¿þÀÌÆÛ¸¦ Á¦Á¶°úÁ¤¿¡¼ ²¨³»´Â µî ü°èÀûÀ¸·Î °ü¸®°¡ °¡´ÉÇϱ⠶§¹®¿¡ ¿þÀÌÆÛ ¼Õ½Ç°ú ÀåºñµéÀÇ °¡µ¿ ÁßÁö ½Ã°£À» ÃÖ¼ÒÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀ¸·Î ÆǴܵȴ١±°í ¸»Çß´Ù.
±×·³¿¡µµ ºÒ±¸ÇÏ°í ¾÷°èÀü¹®°¡µéÀº ¹«¸® ÃÖ»óÀÇ »óÅ¿¡¼ °¡µ¿À» ÁßÁöÇß´Ù ÇÏ´õ¶óµµ »ý»ê¶óÀÎÀÌ ´Ù½Ã °¡µ¿À» ½ÃÀÛÇÏ·Á¸é 1~2ÁÖ´Â ¼Ò¿äµÇ°í ´ÜÀüÀÌ Àå±â鵃 °æ¿ì ÆÕ°ú »ý»ê Àåºñ°¡ ½Ä¾î¹ö·Á ¹®Á¦°¡ ½É°¢ÇØÁú ¼ö ÀÖ´Ù°í °æ°íÇß´Ù.
ƯÈ÷ °øÀå ³»ºÎ °ø±â´Â ½Àµµ¿¡¼ ¿ÏÀüÈ÷ Á¦¾îµÇ¾î¾ß ÇÏ°í Àü¿øÀÌ ²¨Á®µµ ¸ÕÁö´Â ¿ÏÀüÈ÷ °É·¯Á®¾ß Çϱ⠶§¹®¿¡ Á¤ÀüÀ¸·Î ÀÎÇÑ ÇÇÇرԸ𸦠¿¹´ÜÇϱâ´Â ¾î·Á¿î »óȲÀ̶ó´Â °ÍÀÌ ÇÑ°á °°Àº ÁöÀûÀÌ´Ù.
¼öõ¾ï ¿øÀÌ ºñ¿ëÀÌ ÅõÀԵǴ ÀÚº»Áý¾àÀûÀÎ ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê¼³ºñ¿¡¼ ±â¾÷Àº ¼öÀÍÀ» ±Ø´ëÈÇϱâ À§ÇØ 24½Ã°£ ¿î¿µÃ¼Á¦¸¦ À¯ÁöÇØ¾ß ÇÏÁö¸¸ ȯ°æÁ¶°Ç¿¡ ¹Î°¨ÇÑ Á¤¹Ð ÀåºñµéÀÌ ´ëºÎºÐÀÎ ±î´ß¿¡ ´Ü¼øÇÑ ÀÛ¾÷ÀÌ ¾Æ´Ï´Ù.
À̾î´Â ¡°ÃÖ÷´Ü ÆÕ¿¡¼ Àåºñ´Â ¿¬Áß¹«ÈÞ, 24½Ã°£ °¡µ¿µÇ¹Ç·Î ÀûÁ¤ ¿Âµµ¿¡ µµ´ÞÇÏ°í À̸¦ º¸Á¤Çϴµ¥ ¸¹Àº ½Ã°£ÀÌ ¼Ò¿äµÇ°í, ƯÈ÷ ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ Àåºñ¸¦ »ç¿ëÇÏ¸é ´õ¿í ¹®Á¦°¡ µÉ ¼ö ÀÖ´Ù¡±¶ó¸ç ¡°EUV(±Ø Àڿܼ±) ¶Ç´Â DUV(½É Àڿܼ±) ÀåºñÀÇ ·»Áî°¡ ÀÏÁ¤ ½Ã°£ Á¦¾î µÈ ¿Âµµ¿¡¼ ¹þ¾î³ª¸é µÇµ¹¸®°í ¾ÈÁ¤ÈµÇ°í º¸Á¤µÇ´Âµ¥ ¸¹Àº ½Ã°£ÀÌ ¼Ò¿äµÈ´Ù¡±°í ¹àÇû´Ù.
¿À½ºÆ¾¿¡ ÀÖ´Â 3°³ ȸ»çÀÇ ÇÕ»ê ¿þÀÌÆÛ ¿ë·®Àº 300mm ±âÁØ ¿ù 11¸¸5000°³·Î ¹Ì±¹ Àüü 120¸¸ °³ÀÇ 9~10% ¼öÁØ¿¡ À̸£´Â °ÍÀ¸·Î ÃßÁ¤µÇ°í ÀÖ´Ù. µû¶ó¼ ÀÌ¹Ì ½É°¢ÇÏ°Ô ¾ÇÈµÈ ÀÚµ¿Â÷¿ë ¹ÝµµÃ¼ °ø±Þ¿¡ »ó´çÇÑ Å¸°ÝÀÌ ¿ì·ÁµÈ´Ù.
Äڷγª19·Î ÀÎÇÑ »ý»ê·® °¨¼Ò·Î ÁÖ¹®·®À» ÁÙÀÎ ÀÚµ¿Â÷ ¾÷°è°¡ Áö³ÇØ 4ºÐ±âºÎÅÍ ¼öÁÖ·®À» ´Ã·ÈÁö¸¸ 40nm(³ª³ë¹ÌÅÍ)¿Í 55nm Á¦Ç°À» Áß½ÉÀ¸·Î °ø±ÞºÎÁ·ÀÌ ³ªÅ¸³ª¸ç ÀϺΠÀÚµ¿Â÷ Á¦Á¶¾÷üµéÀÇ °æ¿ì Á¶¾÷À» Áß´ÜÇϱ⵵ Çß´Ù.
ICÀλçÀÌÃ÷ ºÎ»çÀå ºê¶óÀ̾ð ¸ÅÅͽº(Brian Matas)´Â ¡°»ï¼ºÀüÀÚ´Â ¿À½ºÆ¾¿¡¸¸ »ý»ê½Ã¼³ÀÌ Àֱ⠶§¹®¿¡ À̹ø Á¤ÀüÀ¸·Î ÀÎÇØ ½É°¢ÇÑ Å¸°ÝÀ» ÀÔÀ» ¼ö ÀÖ´Ù¡±¸ç ¡°Åػ罺¿¡ 100¾ï ´Þ·¯ ±Ô¸ðÀÇ »õ·Î¿î ÆÕ ½Ã¼³ °Ç¼³À» Àç°íÇؾßÇÒ ¼öµµ ÀÖ´Ù¡±°í °æ°íÇß´Ù.