¾Õ¼ ¾ÆÀÌ¿¡½ºÆ¼ÀÌ(ISTE)´Â Áö³ÇØ 10¿ù Áõ±Ç½Å°í¼¸¦ Á¦ÃâÇÏ°í »óÀåÀ» ÁغñÇØ¿ÔÀ¸³ª 12¿ù 9ÀÏ ±¹³» Áõ½ÃÀÇ ºÒ¾ÈÁ¤¼ºÀ¸·Î ÀÎÇØ °ø¸ð ÀÏÁ¤À» ¿¬±âÇÑ ¹Ù ÀÖ´Ù.
¾ÆÀÌ¿¡½ºÆ¼ÀÌ°¡ Á¦ÃâÇÑ Áõ±Ç½Å°í¼¿¡ µû¸£¸é Èñ¸Á°ø¸ð¹üÀ§´Â 9700¿ø~1¸¸1400¿øÀ¸·Î º¯ÇÔÀÌ ¾øÁö¸¸, °ø¸ð ¹°·®Àº ±âÁ¸ 160¸¸ÁÖ¿¡¼ 130¸¸ÁÖ·Î Ãà¼ÒµÆ´Ù.
ÀÌ¿¡ µû¶ó ÃÑ °ø¸ð±Ý¾×Àº 126¾ï¿ø~148¾ï¿ø, °ø¸ð ÈÄ ¿¹»ó ½Ã°¡ÃѾ×Àº 873¾ï¿ø~1026¾ï¿øÀ¸·Î ÁÙ¾îµé¾ú´Ù.
Áö³ÇØ °ø¸ð¸¦ ÃßÁøÇÒ ´ç½Ã ÃÑ °ø¸ð±Ý¾×Àº 155¾ï¿ø~182¾ï¿ø, °ø¸ð ÈÄ ¿¹»ó ½Ã°¡ÃѾ×Àº 903¾ï¿ø~1061¾ï¿øÀ̾ú´Ù.
ÀçÃßÁøÀÎ ¸¸Å °ø¸ð ±Ô¸ð¿Í ±â¾÷°¡Ä¡¸¦ ÇÏÇâ Á¶Á¤ÇÔÀ¸·Î½á °ø¸ð½ÃÀå ÅõÀÚÀÚÀÇ ºÎ´ãÀ» ÁÙ¿´´Ù°í ¼³¸íÇß´Ù.
¾ÆÀÌ¿¡½ºÆ¼ÀÌ °ü°èÀÚ´Â "±¹³» Áõ½Ã º¯µ¿¼º µîÀ» °í·ÁÇØ °ø¸ð ¹°·®À» ½ÃÀåÄ£ÈÀûÀ¸·Î Á¶Á¤ÇÔÀ¸·Î½á ºÎ´ã°¨À» ³·Ãè°í, ÀÏ¹Ý Ã»¾à°ú »óÀå ¿¹Á¤½Ã±â°¡ 2¿ùÀÎ Á¡¿¡¼ ±¹³» Áõ½ÃÀÇ ºÒ¾ÈÁ¤¼ºÀÌ ÀÏÁ¤ ºÎºÐ ÇØ¼ÒµÉ °ÍÀ¸·Î ±â´ëÇÑ´Ù"°í ¹àÇû´Ù.
À̾î "2024³â DZ(FOUP) Ŭ¸®³Ê »ç¾÷Àº ¹°·Ð PECVD[1]¾ç»ê °ËÁõÀÌ ¼øÁ¶·Ó°Ô ÁøÇàµÇ°í ÀÖ´Â ¸¸Å 2025³â¿¡´Â ½Å»ç¾÷ ÃßÁø¿¡ ÀÇÇÑ ½ÇÀû ¼ºÀå¼¼¸¦ ½ÇÇöÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù"°í ÀüÇß´Ù.
¾ÆÀÌ¿¡½ºÆ¼ÀÌ´Â Áõ±Ç½Å°í¼¸¦ Á¦ÃâÇÔ¿¡ µû¶ó ¿À´Â 1¿ù 21ÀϺÎÅÍ 27ÀϱîÁö 5¿µ¾÷ÀÏ°£ ±â°üÅõÀÚÀÚ ´ë»ó ¼ö¿ä¿¹ÃøÀ» ÁøÇàÇÒ ¿¹Á¤À̸ç, 2¿ù 3ÀÏ°ú 4ÀÏ ¾çÀÏ°£ ÀÏ¹Ý Ã»¾àÀ» ÁøÇàÇÑ´Ù.