◆…사진제공:LG디스플레이(연세대 심우영 교수)
LG디스플레이가 산학 협력 인큐베이션 과제를 통해 지원한 연세대학교 심우영 교수(신소재공학과) 연구팀이 수행한 연구 결과가 네이처 커뮤니케이션즈 최신호에 게재됐다고 13일 밝혔다.
유연하고 투명한 타입의 새로운 포토마스크를 이용해 기존의 포토마스크로는 불가능했던 크기의 초미세 패턴을 구현하는 포토 리소그래피(Photolithography) 기술 개발에 관한 것으로 LCD는 물론 OLED에도 적용할 수 있다.
딱딱한 형태인 기존 포토마스크 한계를 극복하기 위해 유연하고 투명한 타입의 새로운 마스크와 이를 사용하는 공정을 개발, 기존의 디스플레이용 노광장비로도 현재 만들 수 있는 크기의 1/100 수준에 해당하는 수십 나노미터의 초미세 패턴을 구현할 수 있게 했다.
초미세 패턴으로 만드는 섬세한 전자회로는 고해상도 구현에 필수적인 것은 물론 유연한 재질의 마스크는 휘어진 기판에도 적용 가능해 다양한 형태의 디스플레이 생산에 도움을 줄 것으로 기대된다.
한편 LG디스플레이는 지난 2015년부터 디스플레이 산업의 발전을 위한 산학 프로그램인 LG디스플레이-연세대 인큐베이션 프로그램을 운영하며 기업과 대학이 함께 디스플레이 기반 기술과 제품들에 대한 아이디어를 모으고 산업화 관점에서 실현될 수 있도록 노력하고 있다.
