13ÀÏ ÁÖ°¡ 1¸¸8920¿ø ±â·ÏÇϸç 52ÁÖ ½Å°í°¡ °æ½Å
High-k Àü±¸Ã¼ ¼³ºñ Áõ¼³ Æ÷ÇÔ 460¾ï¿ø ±Ô¸ð ½Ã¼³ÅõÀÚ
1ºÐ±â ¼øÂ÷ÀÔ±Ý 843¾ï¿ø ¹× ÀÚº»Á¶´ÞºñÀ² 47% ±â·Ï
·¹ÀÌÅ©¸ÓƼ¸®¾óÁî°¡ 13ÀÏ ÄÚ½º´Ú ½ÃÀå¿¡¼ ¿ÀÀü 9½Ã 25ºÐ ±âÁØ 9.04% »ó½ÂÇÑ 1¸¸8920¿øÀ» ±â·ÏÇϸç 52ÁÖ ½Å°í°¡¸¦ °æ½ÅÇß´Ù.
·¹ÀÌÅ©¸ÓƼ¸®¾óÁî´Â Áö³ 2010³â 5¿ù 13ÀÏ ¼³¸³µÅ ¹ÝµµÃ¼¼ÒÀç µîÀ» Àü¹® »ý»êÇÏ´Â ±â¾÷ÀÌ´Ù. °íÀ¯ÀüÀ² High-k ¹Ú¸·°ú È®»ê¹æÁö¸· µî¿¡ »ç¿ëµÇ´Â ALD/CVD ÁõÂø¿ë Àü±¸Ã¼¸¦ °³¹ß ¹× °ø±ÞÇÏ°í ÀÖ´Ù.
Àü±¸Ã¼´Â ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚ¸¦ Á¦Á¶ÇÒ ¶§ ¿þÀÌÆÛ¿¡ ¹Ú¸·À» ½×¾Æ¿Ã¸®´Â ÁõÂø °øÁ¤¿¡¼ »ç¿ëµÇ´Â ¹°ÁúÀÌ´Ù. High-k Àç·á´Â À¯ÀüÀ²ÀÌ ³ôÀº ¹°ÁúÀ» ÀǹÌÇϸç Àü·ù¸¦ Â÷´ÜÇÏ´Â °ÍÀÌ ÁÖ ¸ñÀûÀ̱⠶§¹®¿¡ °ÔÀÌÆ® Àν¶·¹ÀÌÅÍ¿¡ SiO2º¸´Ù ³ôÀº À¯ÀüÀ²À» °®´Â ¹°ÁúÀ» »ç¿ëÇÑ´Ù.
·¹ÀÌÅ©¸ÓƼ¸®¾óÁî´Â ¿ÃÇØ µé¾î ÃÑ 460¾ï¿ø ±Ô¸ðÀÇ ½Ã¼³ÅõÀÚ¸¦ ÀÚüÀÚ±Ý ¹× ¿ÜºÎÀÚ±ÝÁ¶´ÞÀ» ÅëÇØ ÁøÇàÇÑ´Ù. ¿À´Â 8¿ù 31ÀϱîÁö 125¾ï¿øÀ» µé¿© ¿¬±¸¼Ò¸¦ ½ÅÃàÇÏ°í Capa(»ý»ê´É·Â) Áõ¼³°ú ÇÔ²² °¢Á¾ ÀÎÇÁ¶ó¸¦ ±¸ÃàÇÑ´Ù. ¶ÇÇÑ 9¿ù 30ÀϱîÁö ¼¼Á¾ 2°øÀå(¼¼Á¾½Ã ÀüÀÇ¸é ¹Ì·¡»ê´Ü)¿¡ 140¾ï¿ø ±Ô¸ðÀÇ High-k Àü±¸Ã¼ ¼³ºñ Áõ¼³À» ÁøÇàÇÑ´Ù. Áö³ 4¿ù¿¡´Â ¼¼Á¾º¥Ã³¹ë¸® ÀϹݻê´Ü ºÎÁö¸¦ 195¾ï¿øÀ» µé¿© ¸ÅÀÔÇß´Ù.
·¹ÀÌÅ©¸ÓƼ¸®¾óÁî´Â Áö³ 1ºÐ±â ±âÁØ Àå´Ü±âÂ÷ÀԱݰú ¸®½ººÎ並 Æ÷ÇÔÇØ ÃÑ 1131¾ï¿øÀ» Â÷ÀÔÇÑ »óÅ´Ù. ȸ»ç°¡ º¸À¯ÇÑ Çö±Ý ¹× Çö±Ý¼ºÀÚ»ê 288¾ï¿øÀ» Â÷°¨ÇÏ¸é ¼øÂ÷ÀÔ±ÝÀº 843¾ï¿øÀÌ´Ù. ¼øÂ÷ÀÔ±ÝÀ» ÃÑÀÚº»À¸·Î ³ª´« ÀÚº»Á¶´ÞºñÀ²Àº 47.07%¸¦ ±â·ÏÇß´Ù.