¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ¼öÃâÇÏ·Á¸é Á¤ºÎ ¶óÀ̼±½º Ãëµæ Àǹ«È
Áß±¹ "±¹Á¦ ¹«¿ª ¹× ±Û·Î¹ú °ø±Þ¸Á ¾ÈÁ¤ ÈѼÕ" ¹Ý¹ß
³×´ú¶õµå Á¤ºÎ°¡ ´ëÁß±¹ ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ¼öÃâ ÅëÁ¦ Á¶Ä¡¸¦ ¹ßÇ¥ÇÏ¸é¼ Áß±¹ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÌ Å¸°ÝÀ» ÀÔÀ» °ÍÀ̶ó´Â º¸µµ°¡ ³ª¿Ô´Ù.
30ÀÏ(ÇöÁö½Ã°£) ·ÎÀÌÅÍ Åë½Å µî ÁÖ¿ä ¿Ü½Å¿¡ µû¸£¸é ³×´ú¶õµå Á¤ºÎ´Â ÀÚ±¹ ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ¾÷üµéÀÌ Æ¯Á¤ ±¹°¡¿¡ ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê ¼³ºñ¸¦ ¼öÃâÇÏ·Á¸é Á¤ºÎÀÇ ¶óÀ̼±½º ÃëµæÀ» Àǹ«ÈÇÏ´Â Á¶Ä¡¸¦ 9¿ù 1ÀϺÎÅÍ ½ÃÇàÇÑ´Ù°í ¹ßÇ¥Çß´Ù.
¸®¼Å ½º·¹À̳׸¶Ç㸣 ³×´ú¶õµå ´ë¿Ü¹«¿ª·°³¹ßÇù·ÂÀå°üÀº "±¹°¡ ¾Èº¸ ÀÌÀÍÀ» ÁöÅ°´Â Â÷¿ø¿¡¼ ±º»çÀûÀ¸·Î ÀÌ¿ëµÉ ¼ö ÀÖ´Â ¹ÝµµÃ¼ ÀåºñµéÀÇ ¼öÃâ ±ÔÁ¦¸¦ °áÁ¤ÇÏ°Ô µÆ´Ù"°í ¼³¸íÇß´Ù. ±×´Â ÀÌ°°Àº Á¶Ä¡¸¦ ÃëÇÑ ¹è°æ¿¡ ´ëÇؼ± "¿ì¸®¿¡°Ô ´ëÇ×Çϴµ¥ »ç¿ëÇÒ ¼ö Àִ ȸ»ç³ª ´ÜüÀÇ ¼Õ¿¡ ¿ì¸® ±â¼úÀÌ ³Ñ¾î°¡Áö ¾Êµµ·Ï Çϱâ À§ÇÑ °Í"À̶ó°í ºÎ¿¬Çß´Ù. ½º·¹À̳׸¶Ç㸣 Àå°üÀº ½Å±Ô ±ÔÁ¦ÀÇ ´ë»ó Àåºñ¿Í ±¹°¡´Â ±¸Ã¼ÀûÀ¸·Î ¾ð±ÞÇÏÁö ¾Ê¾Ò´Ù.
À̹ø Á¶Ä¡·Î ÀÎÇØ ³ë±¤Àåºñ ±â¾÷ÀÎ ASMLÀÌ °¡Àå Å« ¿µÇâÀ» ¹ÞÀ» °ÍÀ̶ó°í DPAÅë½ÅÀº ÀüÇß´Ù. ASMLÀº ÃÖ÷´Ü °øÁ¤¿¡ ¾²ÀÌ´Â ±ØÀڿܼ±(EUV) ³ë±¤Àåºñ¸¦ »ý»êÇÏ´Â À¯ÀÏÇÑ ¾÷ü´Ù. EUV Àåºñ´Â ´ë·® »ý»êÀÌ ¾î·Á¿ö ¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷µé °£ÀÇ Àåºñ È®º¸ °æÀïÀÌ Ä¡¿ÇØ ¿Ô´Ù.
³×´ú¶õµå Á¤ºÎ´Â 2019³âºÎÅÍ ASMLÀÇ ±ØÀڿܼ±(EUV) ³ë±¤ÀåºñÀÇ Áß±¹ ¼öÃâÀ» ±ÝÁöÇßÀ¸¸ç, Áö³ 3¿ù¿¡´Â ±×µ¿¾È ¼öÃâÀ» Çã¿ëÇØ¿Ô´ø DUV(EUV ÀåºñÀÇ ÀÌÀü ¸ðµ¨) ³ë±¤Àåºñ¿¡ ´ëÇÑ ¼öÃâ ±ÔÁ¦¸¦ ¿¹°íÇÑ ¹Ù ÀÖ´Ù.
ÀÌ°°Àº ³×´ú¶õµåÀÇ Á¶Ä¡¿¡ Áß±¹Àº Áï°¢ ¹Ý¹ßÇß´Ù. ¸¶¿À´× Áß±¹ ¿Ü±³ºÎ ´ëº¯ÀÎÀº À̳¯ "¹Ì±¹ÀÌ ´Ù¸¥ ±¹°¡µé¿¡°Ô Áß±¹¿¡ ´ëÇÑ ¹ÝµµÃ¼ ¼öÃâ ÅëÁ¦ Á¶Ä¡¸¦ °¿äÇÏ°í ½ÃÀå ±ÔÄ¢, ±¹Á¦ ¹«¿ª ¹× ±Û·Î¹ú °ø±Þ¸Á ¾ÈÁ¤À» ÈѼÕÇÏ°í ÀÖ´Ù"¸ç "¿ì¸®ÀÇ Á¤´çÇÑ ±ÇÀÍÀ» ÁöÅ°°Ú´Ù´Â ÀÇÁö¸¦ Ç¥¸íÇÏ¸ç ¾ÕÀ¸·ÎÀÇ »óȲÀ» ¸é¹ÐÈ÷ ÁÖ½ÃÇÏ°Ú´Ù"°í ºñ³Çß´Ù.
¾Õ¼ ¹Ì±¹Àº Áö³ÇØ 10¿ù Áß±¹ÀÇ ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê ±â¾÷¿¡ ´ëÇÑ ¹Ì±¹»ê ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ÆǸŸ¦ »ç½Ç»ó ±ÝÁöÇÏ°í ³×´ú¶õµå¸¦ ºñ·ÔÇÑ µ¿¸Í±¹¿¡µµ ´ëÁß±¹ ¼öÃâ ÅëÁ¦¿¡ µ¿ÂüÇÒ °ÍÀ» Áö¼ÓÀûÀ¸·Î ¿ä±¸ÇØ¿Ô´Ù. ÀÌ¿¡ ¸Â¼ Áß±¹Àº ³×´ú¶õµå°¡ ¼öÃâ ÅëÁ¦¿¡ µ¿ÂüÇÏÁö ¾Êµµ·Ï ÇÊ»çÀûÀ¸·Î ¼³µæÇßÁö¸¸ °á±¹ ¼º°ú¸¦ °ÅµÎÁö ¸øÇß´Ù.
·ÎÀÌÅÍ´Â ¹Ì±¹ÀÇ ¼öÃâ ÅëÁ¦ °È·Î Áß±¹ ¹ÝµµÃ¼ ÀÚ±Þ·üÀº ´õ ³ªºüÁú °ÍÀÌ¸ç ¼öÃâ±æ ¿ª½Ã ¸·Èú °ÍÀ¸·Î º¸Àδٰí ÀüÇß´Ù.