È«ÄáÀÇ ¾Æ½Ã¾ÆŸÀÓ½º´Â Áß±¹ »óÇÏÀÌ¿¡ º»»ç¸¦ µÐ SMIC°¡ ´ë¸¸ ¿£Áö´Ï¾î¸¦ °í¿ëÇÏ°í Áß°í ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ Àåºñ¸¦ »ç¿ëÇÏ´Â ¹æ½ÄÀ¸·Î ¹Ì±¹ÀÇ Á¦À縦 ¿ìȸ, È¿þÀÌ¿¡ 7nm(1nm´Â 10¾ïºÐÀÇ 1m) ĨÀ» °ø±ÞÇÑ °ÍÀ¸·Î È®ÀεǾú´Ù°í º¸µµÇß´Ù.
Áö³´Þ 29ÀÏ È¿þÀÌ°¡ °©Àڱ⠸ÞÀÌÆ®(MATE) 60 ÇÁ·Î ÆǸŰèȹÀ» °ø°³ÇÏÀÚ ºÐ¼®°¡µéÀº ÈÞ´ëÆùÀÇ Áß¾Óó¸®ÀåÄ¡(CPU) Ĩ¼ÂÀÎ ±â¸° 9000s°¡ 2020³â 9¿ù ¹Ì±¹ÀÇ ±ÔÁ¦°¡ ¹ßÈ¿µÇ±â Àü TSMC³ª SMIC°¡ Ãֽűâ¼ú·Î Á¦Á¶ÇÑ °ÍÀ¸·Î ÃßÃøÇÏ´Â °æ¿ì°¡ ¸¹¾Ò´Ù.
±×·¯³ª ÃֽŠºÐ¼®¿¡ µû¸£¸é SMIC°¡ µ¶ÀÚÀûÀ¸·Î Á¦Á¶ÇÑ °ÍÀ¸·Î ³ªÅ¸³ª°í ÀÖ´Ù. SMIC°¡ °í¿¡³ÊÁö 7nm Ĩ Á¦Á¶¸¦ À§ÇØ DUV(Deep Ultra Violet) ¸®¼Ò±×·¡ÇǸ¦ »ç¿ëÇÏ´Â N+2 ó¸® ±â¹ýÀ» °³¹ßÇ߱⠶§¹®ÀÌ´Ù.
ij³ª´Ù ¸®¼Ä¡ ȸ»ç Å×Å© ÀλçÀÌÆ®°¡ ÁøÇàÇÑ Mate60 Pro ¼Óµµ ¹× ¼º´É Å×½ºÆ®¿¡¼ ÃÊ´ç 350Bb¿¡ µµ´Þ, ¾ÖÇÃÀÇ ¾ÆÀÌÆù°ú µ¿µîÇÑ ¼º´ÉÀ» º¸¿´´Ù. °á°úÀûÀ¸·Î SMICÀÇ ÇÁ·Î¼¼¼ÀÇ ¼º´ÉÀÌ ¿¹»óÀ» ¶Ù¾î³Ñ´Â ¼öÁØÀ̶ó´Â °ÍÀ» ÀǹÌÇÑ´Ù.
ÀÌ·¯ÇÑ ¼Ò½ÄÀº ½ÃÀå¿¡ »ó´çÇÑ Ãæ°ÝÀ» ÁÖ°í ÀÖ´Ù. ¹ÝµµÃ¼ ºÐ¼®°¡ÀÎ ·ç½ÌÁö´Â "SMIC°¡ ¼öÀ² 80%ÀÇ 169Á¦°ö ¹Ð¸®¹ÌÅÍ ¿þÀÌÆÛ¸¦ ¸¸µé¾ú´Ù°í °¡Á¤Çϸé N+2 »ý»ê´É·ÂÀº ¿¬ 144,000ÀåÀÇ ¿þÀÌÆÛ°¡ ¼Ò¿äµÉ °ÍÀ¸·Î ÃßÁ¤µÈ´Ù"¶ó¸ç "À̸¦ 6°³¿ù ¾È¿¡ »ý»êÇØ¾ß ÇÒ °æ¿ì ¿ù 2¸¸4õ ÀåÀ» ¶Ù¾î³Ñ´Â ¼ö·®"À̶ó°í ¸»Çß´Ù.
±×´Â ÀÌ·¯ÇÑ ÃßÁ¤Ä¡°¡ »ç½ÇÀ̶ó¸é SMIC°¡ 7nm Ĩ »ý»ê ±â¼ú¿¡¼ »ó´çÇÑ µ¹Æı¸¸¦ ¸¶·ÃÇÑ °ÍÀ¸·Î ´Ù¸¥ ¾÷°è °ü°èÀڵ鵵 ºñ½ÁÇÑ ¹æ½ÄÀ» ÃßÁ¾ÇÒ °¡´É¼ºÀÌ Å©´Ù°í ³»´ÙºÃ´Ù.
¿ÃÇØ ÃÊ ´ë¸¸ ¾ð·ÐµéÀÌ È¿þÀÌ¿Í SMIC°¡ Æó¼âµÈ °øÀå¿¡¼ Áß°í DUV ¸®¼Ò±×·¡ÇǸ¦ ÀμöÇϱ⠽ÃÀÛÇß´Ù°í º¸µµÇßÀ» ¶§¸¸ Çصµ º°´Ù¸¥ °ü½ÉÀ» ²øÁö ¸øÇß´Ù. ´ë¸¸ ±â¼ú ºÐ¼®°¡ Â÷ÀÌȯ½ÅÀº ¹Ì±¹ÀÌ ASML°ú µµÄì ÀüÀÚ À¯ÇÑ°ø»ç¿¡ Áß±¹À¸·ÎÀÇ ¼öÃâÀ» Á¦ÇÑÇÒ °ÍÀ» ¿äûÇßÀ» »Ó Á÷Á¢ ÆǸŸ¦ ¸·Áö´Â ¾Ê¾ÒÀ¸¸ç Áß±¹Àº ÀÌ·¯ÇÑ ÇãÁ¡À» ÀÌ¿ëÇØ 7nm Ĩ Á¦Á¶¿¡ ÇÊ¿äÇÑ ÃæºÐÇÑ DUV Àåºñ¸¦ »çµéÀÏ ¼ö ÀÖ¾ú´Ù°í ÁöÀûÇß´Ù.