»ï¼ºÀüÀÚ´Â 3ÀÏ '»ï¼º ÆÄ¿îµå¸® Æ÷·³ 2019 ÄÚ¸®¾Æ¸¦ °³ÃÖ, ±¹³» ÆÕ¸®½º ¾÷ü¿Í ÆÄÆ®³Ê°¡ ÇÔ²² ¼ºÀåÇϵµ·Ï ³ë·ÂÇÏ°Ú´Ù°í ¹àÇû´Ù.
Áö³ÇØ¿¡ ºñÇØ ¾à 40% Áõ°¡ÇÑ 500¸í ÀÌ»óÀÇ ÆÕ¸®½º °í°´°ú ÆÄ¿îµå¸® ÆÄÆ®³ÊµéÀÌ Âü¼®ÇÏ°í ±â¼ú Æ®·»µå¸¦ °øÀ¯ÇÏ´Â Àü½Ã ºÎ½º¿¡ Âü¿©ÇÏ´Â ±â¾÷µµ 2¹è°¡·® ´Ã¾î³ª ±¹³» ½Ã½ºÅÛ ¹ÝµµÃ¼ ¾÷°èÀÇ °ü½ÉÀ» È®ÀÎÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â Áö³ 4¿ù 133Á¶¿ø ÅõÀÚ¿Í 1¸¸5000¸í °í¿ë âÃâÀ» ÅëÇØ 2030³â±îÁö ½Ã½ºÅÛ ¹ÝµµÃ¼ ±Û·Î¹ú 1À§¸¦ ´Þ¼ºÇÏ°Ú´Ù´Â ¹ÝµµÃ¼ ºñÀü 2030À» ¼±Æ÷ÇÑ ¹Ù ÀÖÀ¸¸ç À̹ø Æ÷·³¿¡¼´Â ÃֽŠEUV°øÁ¤ ±â¼úºÎÅÍ ÀúÀü·Â FD-SOI, 8ÀÎÄ¡ ¼Ö·ç¼Ç±îÁö Æø ³ÐÀº ÆÄ¿îµå¸® Æ÷Æ®Æú¸®¿À¸¦ ¼Ò°³Çß´Ù.
ÆÄ¿îµå¸®»ç¾÷ºÎ Á¤Àº½Â »çÀåÀº ¡°¹ÝµµÃ¼ ºÒ¸ðÁö¿¡¼ »ç¾÷À» ½ÃÀÛÇØ ¾÷°è 1À§¿¡ ¿À¸¥ °æÇèÀÌ ÀÖ´Ù¡±¸ç ¡°ÆÄ¿îµå¸® ºÐ¾ß ÃÖ°í¸¦ À§ÇØ ³°üÀ» ÇìÄ¡°í ÇÔ²² ¼ºÀåÇØ ³ª°¥ ¼ö ÀÖµµ·Ï °ü½É°ú ÀÀ¿øÀ» ºÎŹÇÑ´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù.
¶ÇÇÑ ¡°±¹³» ÆÕ¸®½º ±â¾÷µéÀÌ ´Ù¾çÇÑ ºÐ¾ß¿¡¼ È°¾àÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï µðÀÚÀÎ ¼ºñ½º, Á¦Á¶, ÆÐÅ°Áö µî °³¹ßºÎÅÍ ¾ç»ê±îÁö Çù·Â »ýÅ°踦 È°¼ºÈÇØ ½Ã½ºÅÛ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ ¹ßÀü¿¡ ±â¿©ÇÏ°Ú´Ù¡±°í µ¡ºÙ¿´´Ù.
±¹³» ÆÕ¸®½º ±â¾÷¿¡°Ô 7³ª³ë ÀÌÇÏ EUV ±â¹Ý Ãʹ̼¼ °øÁ¤µµ Àû±Ø Á¦°øÇØ Â÷¼¼´ë ÷´Ü Á¦Ç° °³¹ßÀ» Áö¿øÇÔÀ¸·Î½á ±¹³» ½Ã½ºÅÛ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÇ °æÀï·ÂÀ» È®º¸Åä·Ï Áö¿øÇÏ´Â ÇÑÆí °øÁ¤ ±â¼ú°ú ¼ºñ½º¸¦ º¸´Ù ½±°Ô È°¿ëÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï ÆÄÆ®³Êµé°ú Çù·ÂÀ» È®´ëÇÏ°Ú´Ù´Â ¹æħµµ ¹àÇû´Ù.
ÇÑÆí Áö³ 4¿ù, ÀúÀü·Â 28³ª³ë FD-SOI °øÁ¤ ±â¹Ý eMRAM ¼Ö·ç¼Ç Á¦Ç°°ú EUV ³ë±¤ ±â¼úÀ» Àû¿ëÇØ ¼º´É°ú ¼öÀ²À» ³ôÀÎ 7³ª³ë ÇÉÆê Á¦Ç°À» ÃâÇÏ¿Í Â÷¼¼´ë 5³ª³ë °øÁ¤ °³¹ßÀ» °ø°³ÇÏ´Â µî ÆÄ¿îµå¸® ±â¼ú °³¹ß¿¡ Àû±Ø ³ª¼°í ÀÖ´Ù.
´õºÒ¾î ÆÕ¸®½º °í°´µé¿¡°Ô Àü·ùÀÇ È帧À» ´õ ¼¼¹ÐÇÏ°Ô Á¦¾îÇÒ ¼ö ÀÖ´Â Â÷¼¼´ë Æ®·£Áö½ºÅÍ ±¸Á¶ÀÇ 3³ª³ë GAE(3³ª³ë Gate-All-Around Early) °øÁ¤ ¼³°è Å°Æ®(PDK)¸¦ ¹èÆ÷Çϱ⵵ Çß´Ù.