삼성디스플레이가 MOCVD(유기금속화학증착) 장비 전문 기업인 비코(Veeco)로부터 플렉시블 OLED(유기발광다이오드) 캡슐화 장비인 FAST-ALD 프로토타입(시제품)을 도입하기로 했다.
OLED전문 보도매체인 OLED 인포는 회사의 발표 자료를 인용 “비코가 세계 최고의 모바일 OLED디스플레이 제조회사로부터 제1세대 FAST-ALD 장비를 주문 받았다”고 20일(현지시간) 보도했다.
이들이 해당 회사의 이름을 직접 밝히지는 않았지만 세계 모바일용 OLED 시장의 95% 이상을 삼성디스플레이가 장악하고 있기 때문에 거명을 하지 않아도 알 수 있다.
이들이 삼성디스플레이에게 납품한 ALD는 이전 R&D(연구개발)용 장비에 비해 규모가 업그레이드된 대규모 시스템으로 연구개발용으로 사용할지 아니면 실제 생산에 적용할 것인지는 알려지지 않았다.
지난해 9월 금융서비스 회사인 웨드부시는 “시노스가 2011년부터 삼성과 작업을 진행해 오고 있다”면서 “지난해 4분기 혹은 올해 1분기 중 ALD장비를 삼성에 공급하게 될 것”이라고 전망한 바 있다.
현재 삼성디스플레이는 바이텍스(Vitex)사의 다층 캡슐화 기술을 이용해 5.7인치 풀HD 플렉시블 OLED 디스플레이를 생산하고 있지만 느린 생산 공정과 높은 비용으로 인해 생산량이 크게 부족한 형편이다.
삼성디스플레이는 이 기술로 업그레이드를 서두르는 한편 UDC사의 단층(싱글 레이어) 기술과 같은 대체 기술들에 대해서도 시험을 진행 중인 것으로 알려졌다.
한편 FAST-ALD(원자층증착장비) 캡슐화 기술은 플렉시블 OLED 디스플레이 생산을 위한 장비기술로 지난해 9월 비코가 시노스를 인수, 파일럿 생산에 들어갔으며 올해부터 양산을 시작할 예정이다.
기존 ALD 기술은 속도 및 비용, 온도나 챔퍼 크기 등에 많은 제약을 받았으나 시노스는 이러한 단점을 개선, 처리속도는 10배나 빠르고 비교적 낮은 온도에서도 증착이 가능하며 챔퍼 크기에도 구애를 받지 않는다. 특히 비코는 빠른 속도를 강조하기 ‘FAST-ALD’라고 이름을 붙였다.
