¡ß…ÀÌ⿱ ¿¤ÄÉÀÌÄÍ ´ëÇ¥À̻簡 6ÀÏ ¼¿ï ¿©Àǵµ ÄÜ·¡µåÈ£ÅÚ¿¡¼ ¿¸° ±â¾÷¼³¸íȸ¿¡¼ ¹ß¾ðÇÏ°í ÀÖ´Ù.(»çÁø=¿¤ÄÉÀÌÄÍ)
ȸ»ç Ãø¿¡ µû¸£¸é À̹ø ¼ö¿ä¿¹Ãø¿¡´Â ±¹³»¿Ü 2109°³ ±â°üÀÌ Âü¿©ÇØ ÃÑ 7¾ï8946¸¸7000ÁÖ¸¦ ½ÅûÇÑ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù.
´Ü¼ø °æÀï·üÀº 1052.62´ë 1·Î ÃÑ °ø¸ð±Ý¾×Àº 210¾ï¿ø, »óÀå ÈÄ ½Ã°¡ÃѾ×Àº ¾à 1318¾ï¿ø ±Ô¸ð°¡ µÉ Àü¸ÁÀÌ´Ù.
»óÀåÀ» ÁÖ°üÇÑ ½Å¿µÁõ±Ç °ü°èÀÚ´Â "¿¤ÄÉÀÌÄÍÀÌ ÃÊ°í¼øµµ Á¤Á¦ ±â¼úÀ» ±â¹ÝÀ¸·Î ¹ÝµµÃ¼ ÁõÂø ¼ÒÀç ½ÃÀå¿¡¼ Â÷º°ÈµÈ °æÀï·ÂÀ» È®º¸ÇÏ°í ÀÖ´Ù´Â Á¡, µ¶º¸ÀûÀÎ ¾ç»ê ¿ª·®À» ¹ÙÅÁÀ¸·Î ¸ÅÃâ ¼ºÀå°ú ³ôÀº ÀÌÀÍ·üÀ» ½ÇÇöÇÏ°í ÀÖ´Ù´Â Á¡À» ±â°ü ÅõÀÚÀÚµéÀÌ ³ôÀÌ Æò°¡ÇØ Á̴ּÙ"°í ¼³¸íÇß´Ù.
À̾î "ÇöÀç °ø¸ðÁÖ ½ÃÀåÀÌ °æ»öµÈ »óȲ¿¡¼µµ ¼ö¿ä¿¹Ãø¿¡ Âü¿©ÇÑ 99.43%ÀÇ ±â°ü ÅõÀÚÀÚµéÀÌ °ø¸ð°¡ »ó´Ü ÀÌ»óÀÇ °¡°ÝÀ» Á¦½ÃÇÏ¸ç ³ôÀº °ü½ÉÀ» º¸¿´´Ù"°í µ¡ºÙ¿´´Ù.
Áö³ 2007³â ¼³¸³µÈ ¿¤ÄÉÀÌÄÍÀº ¹ÝµµÃ¼ ¹Ú¸· ÁõÂø °øÁ¤(ALD)¿ë ¸®°£µå ¹× ÇÁ¸®Ä¿¼¸¦ °³¹ß·Á¦Á¶ÇÏ´Â ±â¾÷À¸·Î µ¶º¸ÀûÀÎ ÇÕ¼º·Á¤Á¦ ±â¼ú·ÂÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î ½ÃÀå Á¡À¯À²À» È®´ëÇÏ°í ÀÖ´Ù.
ƯÈ÷, ¿¤ÄÉÀÌÄÍÀº ÇÏÇÁ´½ ÇÁ¸®Ä¿¼(CP-Hf) ƯÇã ¸¸·á¿¡ ¸ÂÃç ÇÏÇÁ´½ ÇÁ¸®Ä¿¼(CP-Hf)ÀÇ ÇÙ½É ¼ÒÀçÀÎ ÇÏÇÁ´½ Å×Æ®¶óŬ·Î¶óÀ̵å(HfCl4)ÀÇ ¾ç»êȸ¦ ÃßÁøÇÏ°í Àü °øÁ¤ ±¹»êȸ¦ ÁøÇà Áß¿¡ ÀÖ´Ù.
¿¤ÄÉÀÌÄÍÀº À̹ø ÄÚ½º´Ú »óÀå °ø¸ð·Î Á¶´ÞÇÑ ÀÚ±ÝÀ» È°¿ëÇØ Á¤¹Ð À¯±âÈÇÐ ¼ÒÀç ¹× °í¼øµµ ÈÇÐ ¼ÒÀç »ý»ê½Ã¼³À» ±¸ÃàÇÒ °èȹÀÌ´Ù.
¶ÇÇÑ, ÇÕ¼º ¹× Á¤Á¦ ¼³ºñ¸¦ È®ÃæÇÏ´Â µî »ý»ê ¿ª·®À» °ÈÇϱâ À§ÇÑ ´Ù¾çÇÑ ÅõÀÚ¸¦ ÃßÁøÇÏ°í ÀÖ´Ù.
À̸¦ ÅëÇØ ¹ÝµµÃ¼ ÇÙ½É ¼ÒÀç ½ÃÀå¿¡¼ÀÇ ÀÔÁö¸¦ ´õ¿í È®´ëÇÏ°í ±Û·Î¹ú °æÀï·ÂÀ» ÇÑÃþ ´õ ³ô¿©°¥ ¹æħÀÌ´Ù.
ÀÌ⿱ ¿¤ÄÉÀÌÄÍ ´ëÇ¥ÀÌ»ç´Â "ȸ»çÀÇ ±â¾÷ °¡Ä¡¸¦ ³ô°Ô Æò°¡ÇØÁֽŠ¸¹Àº ±â°ü ÅõÀÚÀÚ ¿©·¯ºÐ²² °¨»çµå¸°´Ù"¶ó¸ç, "À̹ø »óÀåÀ» ÅëÇØ ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ ÇÁ¸®Ä¿¼ ¼ÒÀç ½ÃÀå¿¡¼ÀÇ ¼±µµÀû ÀÔÁö¸¦ ´õ¿í °ø°íÈ÷ ÇÏ°í ±Û·Î¹ú ½ÃÀå¿¡¼µµ ±â¼ú °æÀï·ÂÀ» °ÈÇØ ³ª°¡°Ú´Ù"°í ¼Ò°¨À» ¹àÇû´Ù.
ÇÑÆí, ¿¤ÄÉÀÌÄÍÀº 13ÀÏ~14ÀϱîÁö ¾çÀÏ°£ ÀÏ¹Ý Ã»¾àÀ» ÁøÇàÇÑ µÚ ¿À´Â 25ÀÏ ÄÚ½º´Ú ½ÃÀå¿¡ »óÀåÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.