À¯ÁøÅ×Å©´Â 23ÀÏ »ï¼ºÀüÀÚ¿Í 35¾ï2000¸¸¿ø ±Ô¸ðÀÇ LP-CVD BJM-1000 °ø±Þ°è¾àÀ» ü°áÇß´Ù°í ¹àÇû´Ù.
ÀÌ´Â À¯ÁøÅ×Å©ÀÇ Áö³ ÇØ ¸ÅÃâ¾× ´ëºñ 19.8%¿¡ ÇØ´çÇÏ´Â ±Ý¾×ÀÌ´Ù. °è¾à±â°£Àº ÃÖÁ¾ ³³Ç°ÀÏÀÎ ¿À´Â 31ÀϱîÁö´Ù.
[ÀúÀÛ±ÇÀÚ ¨Ï Á¶¼¼ÀϺ¸ ¹«´ÜÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö]