LG디스플레이(대표 한상범)가 세계 최초로 초음파를 적용한 디스플레이 장비 개발에 성공, 대면적 디스플레이 생산에 하층 탄력을 받게 됐다.
디스플레이 제조를 위한 TFT, 칼라 필터(Color Filter) 공정에서 마스크에 패턴을 형성하는 사진식각 과정에 초음파를 적용해 기판을 부상 반송하며 코팅하는 장비인 ‘초음파 플로팅 코터(Ultrasonic Floating Coater)’를 개발하는 데 성공했다.
초음파 플로팅 코터는 일정한 진폭과 주파수를 가진 진동 에너지로 미세한 간격을 유지하며 부상 반송하는 원리로 작동된다. 단순한 장비 구조로 유지/보수가 용이한 것은 물론 박형 기판을 보다 안전하게 부상할 수 있다는 장점이 있다.
특히 그 동안 전량 수입에 의존해 왔던 에어 플로팅 코터 대신 초음파 플로팅 코터를 8세대 제조 공정에 도입할 경우 37%의 비용 절감 및 77%의 에너지 절감 효과를 거둘 것으로 기대된다.
LG디스플레이는 지난 2013년 신기술장비공모제도를 통해 협력사인 케이씨텍의 개발 제안을 접수하고 양사 공동으로 약 1년 6개월의 연구 개발 및 이후 6개월의 공정 및 성능 평가 등을 거치며 양산성을 확보했다.
