ìí, ¼öÃ⹫¿ª°ü¸®·É °³Á¤¾È °øÆ÷¡¦¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ ¼ÒÀç 3°³ Ç°¸ñ ¿Ü Ãß°¡ ±ÔÁ¦ Ç°¸ñ ¾ø¾î
À̳«¿¬ ±¹¹«ÃѸ®´Â 8ÀÏ "(ÀϺ»ÀÌ) 3´ë ¼öÃâ±ÔÁ¦ Ç°¸ñÀÇ ÇϳªÀÎ ±ØÀڿܼ±(EUV) Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®ÀÇ Çѱ¹ ¼öÃâÀ» óÀ½À¸·Î Çã°¡Çß´Ù"°í ¸»Çß´Ù.
ÀÌ ÃѸ®´Â À̳¯ Á¤ºÎ¼¿ïû»ç¿¡¼ ¿¸° ±¹Á¤Çö¾ÈÁ¡°ËÁ¶Á¤È¸ÀÇ ¸ðµÎ¹ß¾ð¿¡¼ ÀÌ°°ÀÌ ¹àÇû´Ù.
ÀÌ ÃѸ®´Â "ÀϺ» Á¤ºÎ´Â Çѱ¹ ¹ÝµµÃ¼¿Í µð½ºÇ÷¹ÀÌ¿¡ ÇʼöÀûÀÎ 3°³ Ç°¸ñÀÇ ¼öÃâÀ» ±ÔÁ¦ÇÑ µ¥ À̾î Çѱ¹À» ¼öÃâ½É»ç ¿ì´ë±¹, Áï ¹é»ö±¹°¡¿¡¼ Á¦¿ÜÇß´Ù. ¼¼°è Áöµµ±¹°¡´äÁö ¾ÊÀº ºÎ´çÇÑ Ã³»ç"¶ó¸ç "´Ù¸¸ ¾îÁ¦ ÀϺ» Á¤ºÎ´Â ¹é»ö±¹°¡ Á¦¿Ü ½ÃÇ༼ĢÀ» ¹ßÇ¥ÇÏ¸é¼ ±âÁ¸ 3°³ Ç°¸ñ ÀÌ¿ÜÀÇ ±ÔÁ¦Ç°¸ñÀ» ÁöÁ¤ÇÏÁö ¾Ê¾Ò´Ù"°í ¼³¸íÇß´Ù.
ÀÌ ÃѸ® ¸»´ë·Î ÀϺ» Á¤ºÎ´Â 7ÀÏ Çѱ¹À» 'ÈÀÌÆ®¸®½ºÆ®(¼öÃâÀýÂ÷ ¿ì´ë±¹)'¿¡¼ Á¦¿ÜÇÏ´Â ³»¿ëÀÇ ¼öÃ⹫¿ª°ü¸®·É °³Á¤¾ÈÀ» °øÆ÷ÇßÁö¸¸ ±âÁ¸ ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ ¼ÒÀç 3°³ Ç°¸ñ ¿Ü¿¡ Ãß°¡·Î ¼öÃâ±ÔÁ¦ Ç°¸ñÀ» ÁöÁ¤ÇÏÁö´Â ¾Ê¾Ò´Ù.
ÀϺ» Á¤ºÎ´Â ¼öÃ⹫¿ª°ü¸®·É °³Á¤¾ÈÀ» Áö³ 2ÀÏ °¢ÀÇ(±¹¹«È¸ÀÇ) ó¸®ÇÑ µÚ À̳¯ °øÆ÷ÇßÀ¸¸ç, ¿À´Â 28ÀÏÀ» ±âÁ¡À¸·Î ½ÃÇàµÉ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.