◆…사진=키파운드리
반도체 기업 키파운드리가 각 공정에서 온실가스 배출량 저감을 위한 설비 투자에 나서는 등 ESG(환경·사회·지배구조) 경영을 강화하고 있다고 14일 밝혔다.
키파운드리는 8인치 파운드리 수요가 늘자 가동률을 높이면서 설비도 증설 중이다. 회사 관계자는 "상승하는 가동률만큼 생산 중 발생하는 공정 가스(SF6, PFCs, HFCs 등)의 사용량이 증가하고 설비 증설에 따른 인프라 구축으로 온실가스 배출량도 늘어날 것으로 예상된다"며 "온실가스 배출권을 조기 확보하고 감축을 위한 대응 계획을 마련해 저탄소 환경에 기여하는 활동을 지속 중"이라고 말했다.
이 회사는 PFC(Perfluorinated Compounds, 과불화화합물) 저감을 위해 공정에서 사용하는 온실가스 C2F6(플루오린)을 상대적으로 온난화지수가 낮은 C3F8(과불화프로판)으로 대체하고 사업장 인근 광역 소각시설에서 생산된 소각열(스팀)을 공급받아 폐열을 재사용해 도시가스(LNG) 연료 사용량을 기존 7000kNm³에서 800kNm³으로 감축했다. PFC 사용 장비에 저감 설비인 플라즈마 스크러버를 설치해 지난해 연 8만톤을 감축했고 약 15만톤 감축을 목표로 투자를 이어간다는 계획이다.
반도체 공정에선 웨이퍼의 청정도를 확보하고 생산성을 높이기 위해 고도로 정제된 물인 초순수(DI, Deionized water)를 사용하며 각 공정 전후 씻어내는 과정에서 사용하는 초순수의 57%를 재이용하고 있다. 사업장에서 발생되는 폐기물의 90% 이상을 재활용 업체를 통해 처리하고 있고 폐기물의 재사용률 개선활동을 전개 중이라는 게 회사측 설명이다.
또 코로나19 발생 이후 의료용 반도체의 수요가 늘어난 반면 최근 파운드리 공급 부족이 이어진 가운데 체온계용 MCU의 수요에 0.18 마이크론 NVM(Non-Volatile Memory) 공정 제공, 열화상 카메라용 ROIC(판독 집적회로)와 산소공급기에 사용되는 Source Driver IC 생산 지원, 0.35 마이크론 BCD(Bipolar-CMOS-DMOS) 공정을 이용한 인공호흡기용 DC-DC 컨버터의 생산 등을 이어왔다.
이태종 대표는 "2016년 산업자원부와 에너지 절약 협약을 체결한 이래 에너지 절감 아이템을 발굴해 순차적으로 확대하는 등 기업활동에 대한 환경과 사회적 책임이 막중한 시대임을 느끼며 다방면으로 ESG 활동을 준비하고 있다"면서 "ESG를 최우선 경영 가치로 삼고 관련 활동을 지속 전개할 것"이라고 말했다.
